AMC空氣分析污染物監測系統

DUKE HMI（人機交互界面）軟件可以實時觀察、實時測量、實時操作對不同空間不同位置的NH₃、HCL、HF進行分析，軟件專門針對半導體行業開發，對于深紫外光刻工藝過程中監測與控制空氣分子污染（AMC）提供有力的支持，軟件集成了多點采樣（MS）控制功能，具有實時顯示數據曲線、報警、存儲、趨勢、歷史曲線、分析等功能。

獵戶座 3100S 系統: 完善的空氣分子污染（AMC）監測實時監測空氣分子污染（AMC）對于半導體生產過程尤為重要。快速監測、報警、極低濃度測量、寬測量區域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業要求之一。

深紫外光刻工藝特別關注氨、胺類、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸類等濃度測量，當這些氣體與化學放大光刻膠反生反應時，將深深的影響半導體器件質量。

傳統古老的方法多采用間接測量分析方法。包括撞擊濾塵器、離子色譜、化學熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過程太復雜，昂貴并且測量結果不準確。

DUKE采用被證明的CEAS（腔增強吸收光譜）技術解決AMC（空氣分子污染物）監測難題，可快速測量痕量級NH₃、HCL、HF，采用脈沖熒光法測量SO₂，采用增強型GC-FID測量VOCs。

獵戶座 3100S系列空氣分子污染物監測系統測量痕量級NH₃、HCL、HF并集成了uVOC-CAM特性，是半導體行業潔凈室AMC（空氣分子污染）測量的有力工具。

AMC空氣分析污染物監測系統也集成了多點監測系統，可依序將氣體抽送到分析儀或傳感器，并讀出測量結果。獵戶座 3100S內嵌的報警、報告、分析軟件是由多年半導體行業經驗的工程師集體開發。

獵戶座 3100S使用Ethernet、RS485/RS232或4-20mA模擬模塊可以輸出來自4~6臺分析儀或傳感器的數據。

每臺分析儀配有內置計算機（Linux OS），可進行數據存儲和數據輸出，還支持遠程網絡控制，通過互聯網可以連接DUKE公司總部或者當地經銷商服務商，進行操作或者診斷。

使用者可以通過網絡瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯網的地方進行操作，遠程操作可實現多級管理權限控制和操作。

增強靈敏度

儀器基于CEAS（腔增強吸收光譜）技術，極簡使用、便捷操作，所有部件（包括內置真空泵、鍵盤、鼠標、顯示器等）幾分鐘內可開始記錄數據，其他大氣中的水汽、CO₂、O₂、甲烷等不會對HCl、HF、NH₃等測量構成交叉干擾。內置計算機可以存儲大量數據到內置硬盤上，可同過數字接口或者模擬接口傳輸數據，可通過互聯網遠程存儲或記錄數據，高質量的數據庫，適合于苛刻的半導體痕量級氣體應用。

檢測限/精度 (1-σ)  :       HCl 0.1 ppb

HF   0.1 ppb

NH₃        < 0.1 ppb

快速響應時間

每個通道5秒

系統即插即用

系統可在潔凈間幾分鐘內簡單操作完成

低成本

因CEAS（腔增強吸收光譜）系統不需要特別的維護保養和備品備件，所以很好的降低了使用者成本。

CEAS（腔增強吸收光譜）---原理

基于CEAS（腔增強吸收光譜）技術的儀器原理圖，使用近紅外波段光進行高靈敏度吸收測量，測量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構成，激光束經過固態校準器（FSR=2.00GHz）時會測量得到相對激光波長。為了保證清晰度，忽略了原本照射到左側測量單元腔鏡外的光束。

EP增強型版本集成了壓力傳感器和內部溫度控制器，具有超穩定性測量腔室，防止溫度漂移、壓力變化等造成的誤差。

CEAS（腔增強吸收光譜）相比于*代的CRDS（腔衰蕩光譜）技術，有許多已被證明的優勢。簡而言之，激光束不需要共振耦合進入測量腔室（例如光束不需要嚴格對準）。DUKE分析儀器和系統具有天生安裝簡單、機械牢固、防護結實等特點。

特性：

sub-ppb級實時測量

• CEAS（腔增強吸收光譜）原理

• 苛刻危險環境下可連續無人值守測量

• 無試劑、無放射源、無紙帶消耗、無吸收管或者其他耗材

• *穩定性和可靠性

• 固態電子器件無可移動部件

• 低維護量、長免維護期

• 出廠標定

• 單組份/多組份痕量級氣體測量

• 4~64通道多點采樣

• 獨立可編程報警、繼電器設置

• 可獨立編程采樣點順序和吹掃通道

• 開放的通訊協議，便于二次開發與集成

• 電源斷電或者斷閘，數據無丟失

• 觸摸屏允許數據顯示、表格顯示、曲線顯示等

• ? “外徑接口

• 管線：PFA, PVDF

• 距離采樣點長管線：80m

• 盤裝彩色液晶顯示器

• 可遠程操作或可視化操作。

• 任意的運載工具

• 輸出信號：標配 : RS232 , 可選 : 4-20 mA, Modbus

• 供電 : 115-230 Vac 50/60 Hz

• 校準報告

• 通過采樣器或者快速回路泵采樣